我国成都，2025年10月17日——中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称"中微公司"，股票代码：688012）在成都高新区隆重举行开工仪式，宣布其成都研发及生产基地暨西南总部工程正式开启建设。该基地的落地，将为中微公司进一步提升核心研发实力与规模化生产实力给予有力保证，助力其持久巩固在全球高端半导体设备领域的领先长处。

开工仪式上，中微公司董事长兼总经理尹志尧博士表示，数码产业是现代工业和国民金融进展的核心引擎，而微观加工设备和关键材料及零部件是整个数码产业的基石。中微公司成立21年以来，始终专注高端微观加工设备的研发与制造。成都研发及生产基地专注薄膜沉积设备等半导体高端制造设备，是公司达成进展蓝图的关键战略落子，将为持久推进技术突破、赋能产业升级给予关键支撑。公司将持久加快新设备的研发速率，在今后的五到十年，经过有机生长与外延扩展，逐步覆盖集成电路关键领域50%至60%设备，力争尽早变成高端设备系统化公司，在规模上和角逐力上变成国际一流的半导体设备公司。

中微公司董事长兼总经理尹志尧博士致辞

中微公司成都研发及生产基地暨西南总部工程一期占地约50亩，建筑面积约7万平方米，将进展变成集研发、制造于一体的综合性基地，计划于2027年建成投产，持久提升公司在薄膜沉积设备等高端半导体设备领域的研发制造实力。当做中微公司关键战略布局，伴随成都研发及生产基地建设的开启，公司将来厂房总面积将达成75万平方米，为持久增强产品研发与制造实力给予保证，也为将来持久高速、稳定、健康、保证的高质量进展夯实基本。

成都研发及生产基地成效图

中微公司集团副总裁、中微半导体设备（四川）有限公司总经理陶珩在致辞中深刻阐述了成都研发及生产基地的战略定位与产业责任。他指出：“成都工程肩负技术攻坚、产业补齐、集群引领三大核心使命。咱们将聚焦薄膜沉积设备等领域，全力研发化学气相沉积、原子层沉积等关键设备技术，尽力补齐西南地区在晶圆加工先进设备制造领域的短板，并主动促进上下游协作伙伴一同进展，助力打造半导体高端装备产业链集群，为西南地区半导体产业链升级给予坚实支撑。”

中微公司集团副总裁、中微半导体设备（四川）有限公司总经理陶珩致辞

中微公司自2004年成立以来，始终致力于研发和给予等离子体刻蚀、化学薄膜、量检测等微观加工所需的高端关键设备。公司在过去14年保持营业收益年均增加大于35%。在2024年比2023年销售增加44.7%的基本上，2025年上半年营业收益持久保持高速增加，同比增加43.9%，达成49.61亿元。公司持久加大研发力度，2025年上半年研发投入达成14.92亿元，同比增加约53.70%，研发投入占公司营业收益比例约为30.07%，远高于科创板上市公司的平均研发投入程度。公司目前在研工程涵盖六大类设备、二十多款新产品的研发；在化学薄膜设备领域，公司正持久加大研发投入和产品布局，已胜利达成六种薄膜沉积设备的高效研发与批量交付，在关键性能上已达成世界先进程度。

中微公司成都研发及生产基地暨西南总部工程的正式开工，标志着公司在西南地区的战略布局从规划迈入实质性落地阶段。工程建成后，既为公司持久提升研发革新与产能规模给予坚实保证，也将为区域金融进展注入强劲新动能，并进一步促进西南地区半导体产业链升级，为半导体产业高质量进展贡献关键力量。

攀登勇者，志在巅峰。中微公司将瞄准“打造世界级装备公司”的战略目的，持久加大研发力度，持久夯实公司在高端微观加工设备领域的核心角逐力，秉承“五个十大”的公司文化，即“产品研发十大原则”、“战略销售十大准则”、“营运治理十大章法”、“精神文化十大作风”和“带领实力十大要点”，保持三维立体进展战略，保持有机生长和外延扩展的策略，达成高速、稳定、健康和保证的高质量进展，力争尽早变成高端设备系统化公司，在规模上和角逐力上变成国际一流的半导体设备公司！